半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-MU124D

SEMISTARシリーズSEMISTAR-MU124D

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

仕様用途
搬送
SEMISTARシリーズSEMISTAR-MU124D
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従来機種の搬送能力を踏襲した、新型ロボットコントローラSR200対応モデル
バッテリーレス絶対値エンコーダを搭載

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