半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD10D

SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD10D

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

仕様用途
搬送
SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD10D
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最大で第2世代(400×500mm級)のガラス基板に対応
高剛性設計と高性能制御により、低振動高精度位置決めを実現

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