半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD20S

SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD20S

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

仕様用途
搬送
SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD20S
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製品説明

最大で第4世代ハーフ(460×730mm級)のガラス基板に対応
高剛性設計と高性能制御により、低振動高精度位置決めを実現
真空内ベルト駆動を採用していないため低放出ガス性能を実現
アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能

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