半導体ウエハ、ガラス基板搬送用クリーンロボット SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD35D-G4A

SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD35D-G4A

(株)安川電機

速く、そしてダメージレス
あるべき姿を具現化した
ウエハ搬送用クリーンロボット

仕様用途
搬送
SEMISTARシリーズSEMISTAR-VD35D-G4A
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製品説明

最大で第4世代(730×920mm級)のガラス基板に対応
アーム部にリンク機構を採用することにより高剛性を実現
真空内ベルト駆動を採用していないため低放出ガス性能を実現
アーム内に基板有無センサ用配線を内蔵可能

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